精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)：FR-ES 機(jī)型設(shè)計在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應(yīng)用于各種不同的測量應(yīng)用：薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。

產(chǎn)品型號：FR-ES

更新時間：2024-11-20

廠商性質(zhì)：代理商

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實驗室儀器

氣相色譜儀1

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精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)

FR-ES: 精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)

FR-ES 機(jī)型設(shè)計在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應(yīng)用于各種不同的測量應(yīng)用：薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。有下列波長范圍 FR-ES 配置可用:

VIS/NIR (380-1020nm), UV/NIR (200-850nm), UV/NIR-EXT (200-1000nm), UV/NIR-HR (190-1100nm) NIR-N1 (850-1050nm),

NIR (900-1700nm).

D VIS/NIR (380-1700nm)

依照不同樣品形狀尺寸還有各種各樣的配件，例如

§ 濾光片可阻擋某些光譜范圍內(nèi)的光

§ FR-Mic 提供微米級別區(qū)域進(jìn)行測量

§ 手動載物臺, 100x100mm或 200x200mm

§ 薄膜/比色皿支架用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測量的薄膜/比色皿支架

§ 積分球用于漫反射和全反射反射率測量

FR-ES 規(guī)格(標(biāo)準(zhǔn)配置) *

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)配件

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)

聚焦模塊	安裝在反射探頭上的光學(xué)模塊，用于直徑 <100μm 的光斑尺寸
透射率模塊	用于透射率/吸光度測量的光學(xué)模塊
膜厚/比色皿套件	標(biāo)準(zhǔn)比色皿中的薄膜或液體進(jìn)行透射測量
接觸探頭	曲面樣品的反射率和厚度測量
顯微鏡	具有高橫向分辨率的基于顯微鏡的反射率和厚度測量
手動X-Y平臺	手動 X-Y 平臺，用于測量 25x25mm /100x100mm / 200x200mm 區(qū)域

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng) * 規(guī)格如有變更，恕不另行通知； ** 厚度范圍取決于光譜范圍，是指硅基板上折射率約為 1.5 的單層薄膜 ** 與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 進(jìn)行比較的測量結(jié)果，15 天內(nèi)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值。樣品：Si 上 1μm SiO2，100 次厚度測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差。樣品：Si 上 1μm SiO2，2*15 天內(nèi)日平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。